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GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的暢銷產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)晶圓背面氣體的壓力控制器，該氣體用于冷卻晶圓表面溫度。 常用氣體是氦氣和氬氣。 GR312F壓力控制器是0-5V或者RS485通訊，可以選擇GR317F，實(shí)現(xiàn)EtherCAT通訊。

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F GR312F，熱門型號是GR-511F，又稱壓力自動調(diào)節(jié)閥， 用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中晶圓背面壓力的控制器，實(shí)現(xiàn)冷卻系統(tǒng)的冷卻功能。

UR-Z712M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥中的暢銷款， 控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊； 主要功能消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）。

UR-Z714M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3中的暢銷款， 模塊化的IGS接口形式。 控制該壓力控制器前端的壓力。 多用于消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響，又被稱為：入口控制型。 控制壓力范圍20-950KPa， Devicenet數(shù)字通訊 接口IGS IGS 14W3

UR-Z734M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z734中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， Devicenet數(shù)字通訊 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）

UR-Z724M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z724中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， Devicenet數(shù)字通訊 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）

UR-Z714M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥UR-Z714 中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar Devicenet數(shù)字通訊 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）

UR-Z712M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z712中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊； 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）。

UR-Z732M-B控制該壓力控制器前端的壓力。 horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB 控制壓力范圍10-500KPa， 數(shù)字通訊 消除后端壓力變動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）

UR-Z722M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z700中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊 消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響（出口控制型）