Horiba質(zhì)量流量計D500系列特點(diǎn)介紹：

1、壓力不敏感性能

高性能壓力補(bǔ)償新功能簡化了供氣系統(tǒng)。

2、多量程、多氣體、多壓力解決方案

新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍。

3、G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn))自診斷功能

工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內(nèi)完成測試。

4、高精度

三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度。

5、快速響應(yīng)

響應(yīng)時間<0.8秒；

可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制。

6、動態(tài)范圍

控制范圍廣：0.2%滿量程至100%滿量程。

Horiba質(zhì)量流量計D500系列介紹：

質(zhì)量流量控制器：質(zhì)量流量控制器是一種可直接測量氣體的質(zhì)量流量并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。

不因環(huán)境溫度和使用壓力等條件的變化而改變，可實(shí)現(xiàn)高精度且穩(wěn)定的流量控制，應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域。

HORIBA集團(tuán)向遍布全球各地的用戶大量提供具有較高水平的分析儀器系統(tǒng)及系列產(chǎn)品。

應(yīng)用范圍從汽車發(fā)動機(jī)尾氣排放檢測的研發(fā)到過程及環(huán)境監(jiān)測，體外醫(yī)療檢測，半導(dǎo)體制造和計量，涉及范圍從科技研發(fā)到質(zhì)量控制測量。

實(shí)踐證明，質(zhì)量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對HORIBA集團(tuán)品牌的信任。半導(dǎo)體事業(yè)部以尖銳的目光關(guān)注著半導(dǎo)體、FPD、LED、太陽能、光纖等細(xì)微世界的發(fā)展。

由研發(fā)專家展開研究與開發(fā)以支持半導(dǎo)體制程工藝中對不同流體控制技術(shù)的需求。

為滿足不同市場、不同工藝需求，半導(dǎo)體事業(yè)部亦能提供切合客戶需求的不同產(chǎn)品以實(shí)現(xiàn)匹配工藝需求。